階調マスク

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195963
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049411
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】正確に、効率的に、かつ、安価に製造することができる透過率が段階的に変化する階調マスク。【構成】透過率が実質的に0%と100%を含む3段階以上に空間的に段階的に変化する階調マスクであって、少なくとも透過率が実質的に0%の領域aは、0%と100%以外の所定の透過率を有し、位相差が実質的に使用波長の半波長又はその奇数倍になる半透明膜12を透明基板11上に微細な繰り返しパターン状に設けてなるものである。また、中間の透過率の領域bは、半透明膜12を透明基板11上全面に設けてなるものである。

請求項（抜粋）：

透過率が実質的に0%と100%を含む3段階以上に空間的に段階的に変化する階調マスクにおいて、少なくとも透過率が実質的に0%の領域が、0%と100%以外の所定の透過率を有し、位相差が実質的に使用波長の半波長又はその奇数倍になる半透明膜を透明基板上に微細な繰り返しパターン状に設けてなるものであることを特徴とする階調マスク。

引用特許：

出願人引用 (3件)

カラーフイルターの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-298937 出願人：日本石油株式会社
特開平4-204653
特開平2-012203

審査官引用 (3件)

カラーフイルターの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-298937 出願人：日本石油株式会社
特開平4-204653
特開平2-012203

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