特許

J-GLOBAL ID：200903027236443192

導波路型光フィルタの作製方法

発明者： 伊藤 真澄 ,  稲井 麻紀 ,  榎本 正 ,  井上 享 ,  岩島 徹
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-089154
公開番号（公開出願番号）：特開平8-286021
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 広い波長幅にわたって光を十分に反射することのできる導波路型光フィルタの作製方法を提供する。【構成】 まず、複数個の位相格子が直列に順次形成されたマスクを用意し、複数の位相格子の形成方向と光伝搬方向を一致させて光導波路を設置する。次に、マスクを介して、光導波路に干渉紫外光を照射して、光軸に沿って屈折率が周期的に変化している複数のグレーティングを形成する。各グレーティングの中心波長λ0 や主反射帯の波長幅Δλを適切に設定することにより、広い波長幅にわたって高反射率の反射帯を有する導波路型光フィルタを得る。

請求項（抜粋）：

複数個の位相格子が直列に順次形成されたマスクを用意し、複数の前記位相格子の形成方向と光軸とを一致させて光導波路を設置する第1の工程と、前記マスクを介して、前記光導波路に干渉紫外光を照射して、前記光軸に沿って屈折率が周期的に変化している複数のグレーティングを同時に形成する第2の工程と、を備えることを特徴とする導波路型光フィルタの作製方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/00 306

FI (3件)：

G02B 5/20 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/00 306