特許

J-GLOBAL ID：200903027237353421

リニアモータ、これを用いたステージ装置や露光装置、ならびにデバイス製造方法

発明者： 是永 伸茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258531
公開番号（公開出願番号）：特開平11-098811
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 低発熱、制御応答性向上、小型化、大推力などの諸性能を向上させることができるリニアモータを提供すること。【解決手段】 電磁駆動力によって固定子に対して所定方向に移動する可動子を備えたリニアモータであって、該固定子はヨークと、該所定方向に沿って配列した複数のコイルとを有し、該可動子は複数の磁石を有すると共にヨークは有していないことを特徴とする。そして、該固定子を対向させ前記可動子の磁石をその間に配置している。

請求項（抜粋）：

電磁駆動によって固定子に対して所定方向に移動する可動子を備えたリニアモータであって、該固定子はヨークと、該所定方向に沿って配列した複数のコイルとを有し、該可動子は複数の磁石を有し、複数の該固定子を対向させて該可動子の磁石をその間に配置したことを特徴とするリニアモータ。

IPC (4件)：

H02K 41/03 ,  B23Q 5/28 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H02K 41/03 A ,  B23Q 5/28 B ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A