特許

J-GLOBAL ID：200903027239047786

ユースポイントフィルターシステム

発明者： 堀 隆博
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307704
公開番号（公開出願番号）：特開平9-141262
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】 半導体産業における超純水製造プロセスにおいて、イオン交換樹脂からのコロイダル物質の破過などのユニットプロセスによる水質変動に対するガードフィルター機能を、ユースポイント直前に設置することにより、高純度超純水を安定に供給することを可能にするシステムを提供する。【解決手段】 膜内部にアニオン交換基、カチオン交換基、キレート形成基のうち少なくとも1種を有する高分子鎖が保持されている多孔性の平膜であって、膜1gあたり0.2〜10ミリ当量のアニオン交換基、カチオン交換基あるいはキレート形成基を有し、平均孔径0.01〜1μmである平膜を端部を液密的にシールして装填したモジュールをユースポイント直前に設置したシステム。

請求項（抜粋）：

膜内部にアニオン交換基、カチオン交換基、キレート形成基のうち少なくとも1種を有する高分子鎖が保持されている多孔性の平膜であって、膜1gあたり0.2〜10ミリ当量のアニオン交換基、カチオン交換基あるいはキレート形成基を有し、平均孔径0.01〜1μmである平膜を端部を液密的にシールして装填したモジュールを、ユースポイント直前に設置したことを特徴とするユースポイントフィルターシステム。

IPC (5件)：

C02F 1/44 ,  B01D 61/02 500 ,  B01D 69/06 ,  B01D 71/82 500 ,  C02F 1/42

FI (5件)：

C02F 1/44 J ,  B01D 61/02 500 ,  B01D 69/06 ,  B01D 71/82 500 ,  C02F 1/42 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-224009
  
• 特表平5-507654
  
• 特開昭50-054582