特許
J-GLOBAL ID:200903027247086219

光偏向子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-178085
公開番号(公開出願番号):特開2001-004952
出願日: 1999年06月24日
公開日(公表日): 2001年01月12日
要約:
【要約】【課題】 レーザービームなどの光を高速且つ広偏向角度で偏向できる光偏向子を提供する。【解決手段】 ベース台11に固定される板状の固定板部12aと、固定板部12aの一端及び他端から互いに対向して延出され且つ曲げ変位可能な一対の板バネ部12b,12cと、一対の板バネ部12b,12cの先端側からこの一対の板バネ部12b,12c間に向かってそれぞれ延出され且つ捩じれ変位可能な一対の捩じりバネ部12d,12eと、一対の捩じりバネ部12d,12eに懸架され且つ表面を鏡面に仕上げたミラー面部12とを一体形成したミラー振動板12と、ベース台11上に取り付けられ、ミラー振動板12のミラー面部12を高速且つ広偏向角度で振動させる一対の振動駆動源13,14とを備えている。
請求項(抜粋):
ベース台に固定される板状の固定板部と、該固定板部の一端及び他端から互いに対向して延出され且つ曲げ変位可能な一対の板バネ部と、該一対の板バネ部の先端側からこの一対の板バネ部間に向かってそれぞれ延出され且つ捩じれ変位可能な一対の捩じりバネ部と、該一対の捩じりバネ部に懸架され且つ表面を鏡面に仕上げたミラー面部とを一体形成したミラー振動板と、前記ミラー振動板に形成した一対の板バネ部と対向して前記ベース台に一対取り付けられ、且つ、前記一対の板バネ部の先端側を曲げ変位させることで前記一対の捩じりバネ部に捩じり振動を付与して前記ミラー面部を振動させる一対の振動駆動源とを備えたことを特徴とする光偏向子。
IPC (2件):
G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08
FI (2件):
G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/08 E
Fターム (9件):
2H041AA02 ,  2H041AA12 ,  2H041AB12 ,  2H041AC06 ,  2H041AC08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB22 ,  2H045CB65 ,  2H045DA26

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