特許

J-GLOBAL ID：200903027249720977

振動機構および該振動機構を組み込んだ露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： 長谷川 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273550
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102280
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 X線ミラー等の振動体を高周波数で振動させても位置合わせ精度を悪化させることがない振動機構と該振動機構を組み込んだ露光装置を提供する。【解決手段】 SRビーム11に対するX線ミラー12の位置を計測手段21と駆動手段22により調整した状態でステージ14上のX線ミラー12を振動させてSRビーム11を実質的に拡大してマスク全面を照射する露光装置において、ステージ14とX線ミラー12との間に所定の質量をもつ中間構造体15を介在させ、それらの間をそれぞれ所定のばね定数をもつ板ばね部16a、16bで結合し、X線ミラー12を所定の周波数で加振するピエゾ17を中間構造体15とステージ14の間に設置し、ピエゾ17により中間構造体15を加振する。これにより、ステージ14に外乱を生じさせることなく、X線ミラー12を高速で振動させることができ、マスク面に均一な照射強度のSRビームを照射する。

請求項（抜粋）：

対象物の位置を計測する計測手段と、前記対象物に対して位置決めしうるように設けられたステージと、該ステージを駆動する駆動手段と、前記計測手段に基づき前記ステージを前記対象物に対し位置決めするように前記駆動手段を制御する制御手段を備え、前記ステージ上に、所定のストロークで振動される振動体と該振動体を所定の周波数で加振する加振手段を配設し、前記ステージと前記振動体の間に所定の質量を有する中間構造体を介在させるとともに、該中間構造体と前記ステージおよび前記振動体をそれぞればねで結合し、前記加振手段を前記中間構造体と前記ステージの間に設けることを特徴とする振動機構。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  B06B 1/06 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 41/09 ,  H05H 13/04

FI (6件)：

B06B 1/06 Z ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H05H 13/04 U ,  H01L 21/30 531 A ,  H01L 41/08 U

Fターム (22件)：

2G085AA13 ,  2G085BE03 ,  2G085CA26 ,  2G085DB06 ,  2H097AA03 ,  2H097BB10 ,  2H097CA15 ,  2H097EA01 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5D107AA07 ,  5D107BB06 ,  5D107CC01 ,  5D107CD05 ,  5D107CD08 ,  5D107FF05 ,  5F046DA01 ,  5F046DA30 ,  5F046GA06 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GC04