特許

J-GLOBAL ID：200903027253081504

オゾン発生設備及びオゾン発生装置用酸素/窒素混合気体

発明者： 筒井 俊和
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277447
公開番号（公開出願番号）：特開平6-127906
出願日： 1992年10月15日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、オゾン発生設備及びオゾン発生装置用酸素/窒素混合気体に関し、オゾンガスの発生効率を良好にし且つオゾン濃度を安定させることである。【構成】 この発明によるオゾン発生設備は、オゾン発生装置9の直前に設けた窒素濃度監視部38により、オゾン発生装置9に供給される直前に酸素/窒素混合気体中の窒素濃度を監視し、その監視結果に基づいて、ガス供給装置30Aの出口側に設けた制御部33,34を手動制御又は自動制御(フィードバック制御)することができる構成である。

請求項（抜粋）：

一対の電極間に誘電体を配置し、酸素/窒素混合気体を前記電極間に流しながら交流高電圧を印加してオゾンガスを発生させるためのオゾン発生装置と、このオゾン発生装置に酸素/窒素混合気体を供給するためのガス供給装置と、このガス供給装置の出口側に設けられ前記酸素/窒素混合気体中の窒素濃度を制御する制御部と、前記オゾン発生装置の直前に配置され前記酸素/窒素混合気体の窒素濃度を監視する窒素濃度監視部とを備えたことを特徴とするオゾン発生設備。