特許
J-GLOBAL ID：200903027254657302
超微粒子除去方法およびシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-165760
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012017
出願日： 2002年06月06日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】クリーンルーム内に浮遊する超微粒子を低減する。【解決手段】クリーンルーム10の外周に設けられた還気路18の吸気側に、加湿手段40を設置する。加湿手段40は、山谷形状に形成された複数の不織布からなる加湿モジュールを装着した構成である。この加湿手段40にクリーンルーム10内の空気を導入させると、空気中の超微粒子同士が液架橋により結合して粗大化する。このように粗大化した粗大超微粒子50は、還気路18に設置されたファンフィルタユニット22で捕集され、クリーンルーム10の空気中の超微粒子濃度が減少する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内の空気を循環させる還気路に加湿領域を設けて水蒸気を発生させ、前記加湿領域に前記空気を通過させることによって空気中に浮遊する超微粒子を凝集させて粗大化させ、この粗大化した超微粒子を前記加湿領域の後段に設けたフィルタによって捕集することを特徴とする超微粒子除去方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
3L055AA07
, 3L055BA01
, 3L055CA04
, 3L058BD00
, 3L058BE02
, 3L058BF01
, 3L058BG03
