特許
J-GLOBAL ID:200903027255587600

混合方法、混合装置、及び該混合装置を用いた検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-391884
公開番号(公開出願番号):特開2003-190751
出願日: 2001年12月25日
公開日(公表日): 2003年07月08日
要約:
【要約】【課題】 撥水バルブを用いて待機させた2液を、タイミングよく合流させ、かつ層流で混合させることができる混合方法、混合装置、及び該混合装置を用いた検査装置を提供する。【解決手段】 混合方法は、合流点29より上流側で、第1液の先端と第2液の先端とをそれぞれ第1撥水バルブ27aと第2撥水バルブ27bとで保持する第1ステップと、第1撥水バルブ27aと第2撥水バルブ27bとが第1液の先端と第2液の先端とをそれぞれ保持する第1保持力と第2保持力のいずれよりも大きな第1圧力で、合流点29より下流側から第1液と第2液とを吸引する第2ステップと、第1圧力より小さい第2圧力で、合流点29より下流側から第1液と第2液とを吸引する第3ステップとを備える。
請求項(抜粋):
第1液と第2液とを吸引し、合流させて混合する混合方法であって、合流点より上流側において、第1液の先端を第1撥水バルブで、第2液の先端を第2撥水バルブで、それぞれ保持する第1ステップと、上記第1撥水バルブが第1液の先端を保持する第1保持力と、上記第2撥水バルブが第2液の先端を保持する第2保持力とのいずれよりも大きな第1圧力で、上記合流点より下流側から第1液と第2液とを吸引する第2ステップと、上記第1圧力より小さい第2圧力で、上記合流点より下流側から第1液と第2液とを吸引する第3ステップとを備えたことを特徴とする、混合方法。
IPC (7件):
B01F 3/08 ,  B01F 5/00 ,  B01F 15/00 ,  B01J 19/00 ,  G01N 35/02 ,  G01N 35/08 ,  G01N 37/00 101
FI (7件):
B01F 3/08 Z ,  B01F 5/00 A ,  B01F 15/00 Z ,  B01J 19/00 Z ,  G01N 35/02 D ,  G01N 35/08 A ,  G01N 37/00 101
Fターム (22件):
2G058DA01 ,  2G058DA07 ,  2G058EA14 ,  2G058EC07 ,  2G058FA07 ,  2G058GA02 ,  4G035AB36 ,  4G035AC50 ,  4G035AE02 ,  4G035AE19 ,  4G037DA18 ,  4G037EA01 ,  4G075AA13 ,  4G075AA39 ,  4G075AA65 ,  4G075BB05 ,  4G075BB10 ,  4G075EE12 ,  4G075FA01 ,  4G075FB01 ,  4G075FB06 ,  4G075FC20

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