特許

J-GLOBAL ID：200903027259296170

蒸着装置、及びこの装置に用いる酸素又は酸素含有ガス供給装置

発明者： 齋 輝夫 ,  佐藤 晋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-339261
公開番号（公開出願番号）：特開2002-150551
出願日： 2000年11月07日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：

【要約】【課題】 高温下においても酸素ガスを幅方向に均一に供給し得、また磁気記録媒体の電磁変換特性の向上を図ることができる蒸着装置、及びこの装置に用いる酸素又は酸素含有ガス供給装置を提供すること。【解決手段】 酸素又は酸素含有雰囲気中で磁性材料を蒸着する装置であって、前記酸素又は酸素含有ガスを供給するガス供給部におけるガス吹き出し口が、所定の間隔を置いて複数個形成されている蒸着装置、及びこの蒸着装置に用いる、酸素又は酸素含有雰囲気中で磁性材料を蒸着するに際して用いる酸素又は酸素含有ガス供給装置であって、ガス吹き出し口が、所定の間隔を置いて複数個形成されている、酸素又は酸素含有ガス供給装置。

請求項（抜粋）：

酸素又は酸素含有雰囲気中で磁性材料を蒸着する装置であって、前記酸素又は酸素含有ガスを供給するガス供給部におけるガス吹き出し口が、所定の間隔を置いて複数個形成されている蒸着装置。

IPC (3件)：

G11B 5/85 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/24

FI (3件)：

G11B 5/85 A ,  C23C 14/06 T ,  C23C 14/24 P

Fターム (15件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA06 ,  4K029BA12 ,  4K029BA24 ,  4K029BB02 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA01 ,  4K029DA06 ,  5D112AA05 ,  5D112AA22 ,  5D112FA02 ,  5D112FB20 ,  5D112FB28