特許

J-GLOBAL ID：200903027267512672

微小装置の製造方法

発明者： 加藤 真希子 ,  岩崎 靖和 ,  内山 誠
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-145845
公開番号（公開出願番号）：特開平8-018069
出願日： 1994年06月28日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】キャビティ部の汚染あるいは可動部の損傷を生じることなく微小装置を得ることのできる、安価で信頼性の高い微小装置の製造方法を提供すること。【構成】上記目的は、キャビティ部あるいは可動部を有する微小装置の製造において、(1) 上記のキャビティ部あるいは可動部を有する微小装置の構成材料と濡れ性の良い溶剤を用いて常温・常圧で固体の昇華性物質を溶解し、該昇華性物質溶液を上記キャビティ部あるいは可動部に塗布する工程と、(2)加熱ないしは冷却の熱処理によって、上記可動部あるいは可動部に上記昇華性物質を充填する工程と、(3) 昇華により、上記昇華性物質を除去する工程とを含む微小装置の製造方法とすることによって達成することができる。

請求項（抜粋）：

キャビティ部あるいは可動部を有する微小装置の製造において、下記工程を含むことを特徴とする微小装置の製造方法。(1) 上記のキャビティ部あるいは可動部を有する微小装置の構成材料と濡れ性の良い溶剤を用いて常温・常圧で固体の昇華性物質を溶解し、該昇華性物質溶液を上記キャビティ部あるいは可動部に塗布する工程、(2)加熱ないしは冷却の熱処理によって、上記キャビティ部あるいは可動部に上記昇華性物質を充填する工程、(3) 昇華により、上記昇華性物質を除去する工程。