特許

J-GLOBAL ID：200903027284604319

エッチング深さ測定装置及びその方法

発明者： 佐藤 雅晴 ,  井ノ本 実 ,  益川 和之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-162083
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343219
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】干渉信号が異常波形を出力した場合でも、目標深さでエッチングを停止させることができるエッチング深さ測定装置及びその方法を提供すること。【解決手段】エッチング対象物(7)に光を照射し、該エッチング対象物(7)のマスク上で反射した光とパターン穴上で反射した光の干渉信号の極点間隔からエッチング深さを測定するエッチング深さ測定装置において、前記干渉信号に異常波形を検出したとき、その異常波形を検出した区間では、予想されるエッチングレートを計算してエッチング深さを算出する演算手段(4)を備えている。

請求項（抜粋）：

エッチング対象物に光を照射し、該エッチング対象物のマスク上で反射した光とパターン穴上で反射した光の干渉信号の極点間隔からエッチング深さを測定するエッチング深さ測定装置において、前記干渉信号に異常波形を検出したとき、その異常波形を検出した区間では、予想されるエッチングレートを計算してエッチング深さを算出する演算手段を備えたことを特徴とするエッチング深さ測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/22 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/22 G ,  H01L 21/66 P ,  H01L 21/302 E

Fターム (45件)：

2F065AA25 ,  2F065CC19 ,  2F065CC32 ,  2F065DD08 ,  2F065DD11 ,  2F065FF52 ,  2F065GG03 ,  2F065GG21 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ17 ,  2F065LL02 ,  2F065LL22 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106AA13 ,  4M106AB15 ,  4M106AB16 ,  4M106CA21 ,  4M106CA22 ,  4M106CA25 ,  4M106CA32 ,  4M106CA51 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB15 ,  4M106DB21 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32 ,  4M106DH38 ,  4M106DH55 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ15 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ32 ,  5F004CB10 ,  5F004CB17