特許

J-GLOBAL ID：200903027284900759

酸化物単結晶育成用坩堝とそれを用いた酸化物単結晶育成装置

発明者： 熊取谷 誠人
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-330479
公開番号（公開出願番号）：特開2002-137985
出願日： 2000年10月30日
公開日（公表日）： 2002年05月14日
要約：

【要約】【課題】 単結晶育成中の二重構造坩堝において、内側坩堝が位置ずれを起こして外側坩堝の中心軸から外れることを防ぐ酸化物単結晶育成用坩堝を提供し、また、この坩堝を用いた酸化物単結晶育成装置を提供する。【解決手段】 チョクラルスキー法による酸化物単結晶育成に用いられる酸化物単結晶育成用坩堝であって、一端が閉じた円筒状の外側坩堝1と、壁面に開口部3を有する円筒状の内側坩堝2の二重構造で構成され、前記外側坩堝1の底部には、前記内側坩堝2の内径とほぼ等しい直径を有する凸部4、または内側坩堝2の外径とほぼ等しい直径を有する凹部が設けられ、前記内側坩堝2は前記外側坩堝1の凸部4または凹部にはめ込まれている。

請求項（抜粋）：

チョクラルスキー法による酸化物単結晶育成に用いられる酸化物単結晶育成用坩堝であって、一端が閉じた円筒状の外側坩堝と、壁面に開口部を有する円筒状の内側坩堝の二重構造で構成され、前記外側坩堝の底部には、前記内側坩堝の内径とほぼ等しい直径を有する凸部、または内側坩堝の外径とほぼ等しい直径を有する凹部が設けられ、前記内側坩堝は前記外側坩堝の凸部または凹部にはめ込まれていることを特徴とする、酸化物単結晶育成用坩堝。

IPC (2件)：

C30B 15/12 ,  C30B 29/30

FI (2件)：

C30B 15/12 ,  C30B 29/30 B

Fターム (5件)：

4G077AA02 ,  4G077BC37 ,  4G077CF10 ,  4G077PD02 ,  4G077PD08