特許
J-GLOBAL ID：200903027286366288
直流グロー放電処理装置におけるアーク遮断方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049880
公開番号（公開出願番号）：特開平7-233472
出願日： 1994年02月23日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】 遮断時間及び復帰時間を短くし、アークによる処理物への悪影響を抑えることのできるアーク遮断方法及び装置を提供する。【構成】 直流制御部1で得られ平滑回路2を介して取り出された直流電圧はインバータスイッチング部3で交流(矩形波)に変換された後、昇圧トランス4,整流部5,放電電圧検出回路6及びカレントトランス7を介して処理装置本体12に供給される。整流部5と処理装置本体12との間に配置された放電電圧検出回路6から得られた放電電圧検出信号は、微分回路を含む放電電圧立ち下げ検出回路8へ送られる。放電電圧立ち下げ検出回路8には、インバータ制御部11からのインバータ制御信号が供給されている。放電電圧立ち下げ検出回路8の出力として得られるアーク検出信号に基づき、インバータ制御部11はインバータスイッチング部の動作を停止させ、処理装置本体への給電を遮断する。
請求項（抜粋）：
直流グロー放電処理装置におけるアーク放電遮断方法であって、放電電圧を検出した信号を微分することにより放電電圧の立ち下がりを検出し、検出した放電電圧の立ち下がりに基づいて直流放電処理装置への給電を停止することを特徴とするアーク遮断方法。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, H01J 17/00
, H02M 9/04
