特許

J-GLOBAL ID：200903027287635169

金属端子を有するセラミック-金属複合部品、及びその製造方法

発明者： 青沼 伸一朗 ,  村松 滋子 ,  藤田 光広 ,  小林 慶朗
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323082
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110877
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 静電チャックやセラミック面状ヒータのようなセラミック-金属複合部品において、部品の金属端子部形成時に部品の内部の導電体間でショートが発生する恐れがなく、かつ比較的高い温度においても使用可能な、外部引き出し用ネジ穴を備えた金属端子部を有する部品を実現する。【解決手段】 セラミック絶縁表面層とセラミック絶縁基体の間に内部導電体が配置され、該セラミック絶縁基体に貫通孔が穿設され、該貫通孔に金属端子が埋設された構造を有するセラミック-金属複合部品において、金属端子に外部電極接続用のネジ穴と、このネジ穴に連接された通気孔を形成し、この金属端子を高融点金属ペーストを用いて内部導電体に電気的に接続する。

請求項（抜粋）：

セラミック絶縁表面層とセラミック絶縁基体の間に、単数もしくは複数の内部導電体が配置され、該セラミック絶縁基体の該内部導電体から導出される端子部に相応する部分に貫通孔が穿設され、該貫通孔に、外部電極を引き出すためのネジ穴を有する金属端子が埋設された構造を有するセラミック-金属複合部品において、該金属端子が、相平行する少なくとも2つの平面を有する金属ブロックの1平面にネジ穴を貫通することなく穿設し、ネジ穴の最奥部からネジ穴開口部の他方の平面に向けて該ネジ穴より小径で該金属ブロックを貫通する通気孔を設けて作成したものであり、かつ高融点金属ペーストの焼結体で該内部導電体と該金属端子の通気孔側平面とが電気的に接続され、また該セラミック絶縁基体の内表面と該金属端子の外表面が接合されていることを特徴とする金属端子を有するセラミック-金属複合部品

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 37/02

FI (4件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C04B 37/02 Z

Fターム (15件)：

3C016GA10 ,  4G026BA01 ,  4G026BA16 ,  4G026BB21 ,  4G026BF01 ,  4G026BF04 ,  4G026BF06 ,  4G026BG02 ,  4G026BG05 ,  4G026BG27 ,  4G026BH08 ,  5F031HA17 ,  5F031HA18 ,  5F031HA37 ,  5F031PA11