特許
J-GLOBAL ID：200903027299317766
蒸着マスク及びこれを用いた蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-093676
公開番号（公開出願番号）：特開2004-300495
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】所定枚数以上の被蒸着部材に背面電極を形成するための蒸着材料を蒸着するにあたって、既存の蒸着マスクを繰り返し利用することができ、またコスト低減を達成し得る蒸着マスク及びこれを用いた蒸着方法を提供する。【解決手段】蒸着材料収納容器3に収納された蒸着材料4の蒸発によって透光性基板10に所定の蒸着パターンを形成してなる複数の開口部15と透光性基板10への前記蒸着パターンの形成を阻止するマスク部16とを有する蒸着マスク12であって、開口部15の内壁面37と、マスク部16領域の一部であるマスク部16の裏面部38には有機蒸着膜39が形成されてなる。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
蒸着材料の蒸発によって被蒸着部材に所定の蒸着パターンを形成してなる複数の開口部と前記被蒸着部材への前記蒸着パターンの形成を阻止するマスク部とを有する蒸着マスクであって、
前記開口部の内壁面と、前記マスク部領域の少なくとも一部には有機蒸着膜が形成されてなることを特徴とする蒸着マスク。
IPC (4件)：
C23C14/04
, C23C14/24
, H05B33/10
, H05B33/14
C23C14/04 A
, C23C14/24 G
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BA62
, 4K029BD00
, 4K029HA01
, 4K029HA02
