特許

J-GLOBAL ID：200903027300282149

位置検出方法、位置合わせ方法、および露光方法

発明者： 中島 伸一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104389
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295056
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、離散的な位置検出信号に基づいて被検出対象物の位置を検出する位置検出方法、当該位置検出方法を用いた位置合わせ方法、および、露光方法に関し、より高精度に位置を検出することのできる位置検出方法、位置合わせ方法、および、露光方法を提供することを目的とする。【解決手段】 アライメントセンサ31、32によって検出されたウェハ12のアライメントマークの位置を検出するための離散的に得られた位置検出信号を所定のモデル関数でフィッティングすることにより複数のフィッティング関数を求め、所定の評価基準に対する複数のフィッティング関数のそれぞれの評価値を算出し、評価値に基づいて、複数のフィッティング関数から所定のフィッティング関数を選択し、所定のフィッティング関数に基づいて、ウェハ12のアライメントマークの位置を検出するようにする。

請求項（抜粋）：

所定の位置を検出するために所定のサンプリング間隔で離散的に得られた位置検出信号を所定のモデル関数でフィッティングすることにより複数のフィッティング関数を求め、所定の評価基準に対する前記複数のフィッティング関数のそれぞれの評価値を算出し、前記評価値に基づいて、前記複数のフィッティング関数から所定のフィッティング関数を選択し、前記所定のフィッティング関数に基づいて、前記所定の位置を検出することを特徴とする位置検出方法。

IPC (5件)：

G01B 21/00 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G01B 21/00 G ,  G01B 11/00 A ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/30 525 W