特許
J-GLOBAL ID：200903027300706739
軟磁性合金薄膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057890
公開番号（公開出願番号）：特開平7-268610
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、飽和磁束密度が高く、保磁力が低く、透磁率が高く、高周波帯域における透磁率が高い軟磁性合金薄膜を提供することを目的とする。【構成】 本願発明は、体心立方構造のFeを主成分とする平均結晶粒径10nm以下の微細結晶相と、希土類金属元素およびTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Wの群から選択される少なくとも1種の元素Mと、Nの化合物を主成分とする非晶質相からなり、前記非晶質相が組織の少なくとも50%以上を占めてなるものである。
請求項（抜粋）：
体心立方構造のFeを主成分とする平均結晶粒径10nm以下の微細結晶相と、希土類金属元素およびTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Wの群から選択される少なくとも1種の元素Mと、Nの化合物を主成分とする非晶質相からなり、前記非晶質相が組織の少なくとも50%以上を占めてなることを特徴とする軟磁性合金薄膜。
IPC (4件)：
C23C 14/14
, C22C 38/00 303
, C22C 45/02
, H01F 10/14
