積層セラミック部品の製造方法とその装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133950
公開番号（公開出願番号）：特開平7-001428
出願日： 1993年05月11日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：

【要約】【目的】 5〜20μm厚さのセラミックシートを使用して、小型で高性能の積層セラミック部品を容易に製造可能な製造方法とその装置を提供する。また、セラミックシートの積層精度を向上して、部品の一層の小型化に貢献する。【構成】キャリアフィルム1上にセラミックシート2を形成し、内部電極となる導体パターンを印刷形成する。セラミックシート2を吸着手段7によって吸着した状態で、切断手段8によって切断する。セラミックシート2を吸着し、キャリアフィルム1を支持手段11の剥離用支持部11aによって支持した状態で、剥離用支持部11aを押圧する方向にキャリアフィルム1を引っ張り、セラミックシート2をキャリアフィルム1から剥離する。複数のセラミックシート2を積層し、熱圧着手段10によって熱圧着してセラミック積層体を形成する。

請求項（抜粋）：

導体パターンを印刷形成したセラミックシートを積層し、熱圧着してセラミック積層体を形成する積層セラミック部品の製造方法において、連続する帯状のキャリアフィルムの第1の表面上に、セラミック粉末と樹脂及び溶剤からなるスラリーを塗布、乾燥してセラミックシートを形成するシート形成ステップと、前記セラミックシートに内部電極となる導体パターンを印刷形成する印刷形成ステップと、前記キャリアフィルム上の前記セラミックシートを、吸着手段によって吸着した状態で、切断手段によってセラミックシートを切断する切断ステップと、前記キャリアフィルムの第2の表面側に剥離用支持部を有する支持手段を配置し、前記吸着手段によって前記セラミックシートを吸着し、かつ、前記支持手段の前記剥離用支持部によってキャリアフィルムをその第2表面側から支持した状態で、剥離用支持部を押圧する方向にキャリアフィルムを引っ張り、キャリアフィルムをセラミックシートから剥離する剥離ステップと、前記吸着手段によって前記セラミックシートを吸着した状態で、このセラミックシートを、吸着手段と共に、ヒータを内蔵した金型を備えた熱圧着手段上に移動させ、この熱圧着手段上に配置した別のセラミックシート上に重ねる積層ステップと、前記積層ステップを所定回数行うことにより、所定の数の前記セラミックシートを積層した後、熱圧着手段によってこの積層セラミックシートを前記熱圧着手段によって熱圧着して一体化し、セラミック積層体を形成する熱圧着ステップとを有することを特徴とする積層セラミック部品の製造方法。

IPC (5件)：

B28B 11/02 , B28B 1/30 101 , C04B 41/88 , H01G 4/12 364 , H05K 3/46

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-002196
特開平3-227205
特開平4-002196

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