特許
J-GLOBAL ID：200903027305403254
多孔質静圧軸受およびその製法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117889
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307448
出願日： 1993年04月21日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【目的】 静圧軸受における流体通路の構成をセラミック製で、かつ多孔体を流体通路に用いているため、低流量、高剛性、高速高精度な静圧軸受を提供すること。【構成】 固体と固体間の隙間に流体を供給して非接触浮上させる静圧軸受において、多孔体16の軸隙間出口17と径隙間出口18が小径粒子19をバインダで埋め込み固定して構成されているセラミック製多孔質静圧軸受。
請求項（抜粋）：
固体と固体間の隙間に流体を供給して非接触浮上させる静圧軸受において、流体供給孔と接続され、かつ、軸受隙間の一部に開口を持つ多孔体が、緻密セラミック内部に内包され、前記多孔体の軸受隙間の開口部が、小径粒子をバインダで埋込み固定して形成した多孔体内多孔質であることを特徴とするセラミック製多孔質静圧軸受。
IPC (4件)：
F16C 32/06
, B28B 1/26
, C04B 33/28
, C04B 38/06
