特許

J-GLOBAL ID：200903027306198883

ケミカルフィルタ

発明者： 田中 実 ,  谷口 隆志 ,  中野 寿朗 ,  佐々木 晴子
出願人/特許権者： ニチアス株式会社
代理人 (1件)： 赤塚 賢次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-021970
公開番号（公開出願番号）：特開2001-205029
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
要約：

【要約】【課題】 ケミカルフィルタ自身から発生する汚染物質を除去して、半導体や精密電子部品製造における歩留りの向上が図れるケミカルフィルタを提供すること。【解決手段】 空気中のガス状不純物及び凝集性有機物質を除去する吸着濾材を有するケミカルフィルタであって、前記吸着濾材は繊維質素材からなるコルゲート状ハニカム構造体であり、且つ実質的に酸化ホウ素を含有しないものであるケミカルフィルタ。

請求項（抜粋）：

空気中のガス状不純物及び凝集性有機物質を除去する吸着濾材を有するケミカルフィルタであって、前記吸着濾材は繊維質素材からなるコルゲート状ハニカム構造体であり、且つ実質的に酸化ホウ素を含有しないものであることを特徴とするケミカルフィルタ。

IPC (2件)：

B01D 53/04 ,  B01J 20/28

FI (2件)：

B01D 53/04 A ,  B01J 20/28 A

Fターム (28件)：

4D012CA10 ,  4D012CB02 ,  4D012CE03 ,  4D012CF02 ,  4D012CF05 ,  4D012CG01 ,  4D012CG04 ,  4D012CK05 ,  4G066AA04B ,  4G066AA05B ,  4G066AA20B ,  4G066AA22B ,  4G066AA61B ,  4G066AA71B ,  4G066AA72B ,  4G066AC02D ,  4G066AC12D ,  4G066AC23B ,  4G066AC26B ,  4G066AC27B ,  4G066BA07 ,  4G066BA09 ,  4G066BA16 ,  4G066BA20 ,  4G066CA02 ,  4G066CA29 ,  4G066CA31 ,  4G066CA32

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 空気浄化フィルタとその製造方法及び高度清浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-172690   出願人：高砂熱学工業株式会社
• エアーフィルタ及びエアーフィルタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-283616   出願人：ニッタ株式会社