特許
J-GLOBAL ID：200903027306393163
偏光解析法および測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022623
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211655
出願日： 1998年01月20日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 偏光解析法による薄膜の膜厚と屈折率の独立決定の曖昧さを克服し、高い信頼性で膜構造を解析することを可能にする。【解決手段】 基板上に薄膜を堆積させた膜構造の膜厚および屈折率あるいは組成を解析する偏光解析法において、液体に測定試料全体を浸し、この液体の屈折率を連続的に変化させながら偏光解析測定を行い、基板と入射角度によって決まるブルースターエネルギー付近における液体中での偏光解析測定データのうちの偏光光波の位相ずれの差異(Δ)の不連続的な変化を検知することによって薄膜の屈折率を決定する。
請求項（抜粋）：
基板上に薄膜を堆積させた膜構造の膜厚および屈折率あるいは組成を解析する偏光解析法において、液体に測定試料全体を浸してこの液体の屈折率を連続的に変化させながら偏光解析測定を行い、基板と入射角度によって決まるブルースターエネルギー付近における液体中での偏光解析測定データのうちの偏光光波の位相ずれの差異の不連続的な変化が起こる時点を検知し、その時点での液体の屈折率を測定することによって薄膜の屈折率を決定することを特徴とする偏光解析法。
IPC (3件)：
G01N 21/21
, G01B 11/06
, G01N 21/41
G01N 21/21 Z
, G01B 11/06 Z
, G01N 21/41 Z
