特許

J-GLOBAL ID：200903027315928550

レーザ加工方法

発明者： 中井 出 ,  岡田 俊治 ,  植杉 雄二
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320236
公開番号（公開出願番号）：特開平8-174257
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【構成】 発振器とガルバノミラー4間のレーザ光軸上に、fθレンズ5を通過したレーザビームの集光径よりもピンホール2b部でのレンズ2aによる集光径R2aが小さくなるようにした焦点距離のレンズ2aを持つ空間フィルタ2を配置するとともに、ガルバノミラー4の入射口の直前に円形アパーチャ3を配置した。レーザビーム1の光空間周波数の高周波成分を空間フィルタ2でカットすることによって、fθレンズ5を通過したレーザビームの集光点でのスポット径を増大させる成分を除去して微細な加工が行えるとともに、アパーチャ3によってレーザビーム1の断面形状が円形に整形されることによりfθレンズ5の中心部と周辺部を通過するレーザビーム1の集光点において同様の円形スポット形状が得られる。

請求項（抜粋）：

レーザビームをガルバノメータによって駆動される2枚のミラー(以下ガルバノミラーと記す)により走査させ、そのレーザビームをfθレンズで集光させて加工を行う方法において、発振器とガルバノミラー間の光軸上に、凸レンズ・ピンホールを有する部材・凸レンズにて構成される空間フィルタを配置し、かつ前記ピンホール部でのレーザビームの集光径がfθレンズを通過した後のレーザビームの集光径よりも小さくなるようにレンズの焦点距離を設定したことを特徴とするレーザ加工方法。

IPC (2件)：

B23K 26/08 ,  B23K 26/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭57-007834
  
• レーザービーム走査光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-158514   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭62-049316