特許

J-GLOBAL ID：200903027318825751

スピン処理装置及びスピン処理方法

発明者： 平川 忠夫 ,  黒澤 雅彦 ,  林 航之介 ,  中嶋 英貴 ,  黒川 禎明 ,  重山 昭宏 ,  蒲谷 静雄 ,  奥田 直彦
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-027023
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229403
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】 この発明は回転テーブルに保持された基板の傾斜状態を検出することができるようにしたスピン処理装置を提供することにある。【解決手段】 基板Wを回転させながら処理するためのスピン処理装置において、回転駆動される回転テーブル3と、この回転テーブルに設けられ回転テーブルに供給される上記基板の周辺部を保持する複数の支持部材4と、この保持部材に保持された上記基板の保持状態を検出する検出手段35とを具備する。

請求項（抜粋）：

基板を回転させながら処理するためのスピン処理装置において、回転駆動される回転テーブルと、この回転テーブルに設けられ回転テーブルに供給される上記基板の周辺部を保持する複数の保持部と、この保持部に保持された上記基板の保持状態を検出する検出手段とを具備したことを特徴とするスピン処理装置。

IPC (7件)：

H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304 651 ,  B05C 11/08 ,  B05C 13/02 ,  B05D 1/40 ,  B05D 3/00 ,  B08B 3/02

FI (7件)：

H01L 21/304 648 G ,  H01L 21/304 651 B ,  B05C 11/08 ,  B05C 13/02 ,  B05D 1/40 A ,  B05D 3/00 C ,  B08B 3/02 B

Fターム (23件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BB22 ,  3B201BB83 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43 ,  4D075AC64 ,  4D075AC78 ,  4D075AC91 ,  4D075DB13 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4D075EA60 ,  4F042AA07 ,  4F042CC04 ,  4F042CC09 ,  4F042DA01 ,  4F042DA08 ,  4F042DF04 ,  4F042EB09