特許

J-GLOBAL ID：200903027326486915

基板のダイシング方法とその装置

発明者： 国分 守 ,  福西 隆一 ,  佐藤 義広
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-161829
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031783
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 表裏両面に所要パターンが形成された基板に、分割用スリットを形成するダイシング方法とその装置に関し、該所用パターンの損傷をなくす。【構成】 基板の表面に分割用スリットを形成したのち洗浄するダイシング装置において、該基板の表面に分割用スリットを形成し洗浄したのち、該基板を垂直姿態にしてその表裏両面を洗浄する。キャリアから1枚の基板を取り出してスリット形成後に収納するリフトアーム、リフトアームとダイシングテーブル・ダイシングテーブルと洗浄部・洗浄部とリフトアームとの間の基板搬送用シフトアーム、ダイシングテーブルに搭載した基板の表面にスリットを形成したのちそのスリット形成面を洗浄するダイシング部とを具え、シフトアームには基板を水平姿態←→垂直姿態に変える手段を具える。

請求項（抜粋）：

基板の表面に分割用スリットを形成したのち洗浄するダイシング方法において、該基板の表面に分割用スリットを形成しそのスリット形成面を洗浄したのち、該基板を垂直姿態にしてその表裏両面を洗浄すること、を特徴とする基板のダイシング方法。

IPC (5件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 351 ,  H01L 21/304 361 ,  H01L 21/301