特許
J-GLOBAL ID：200903027329481850
真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-263366
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117386
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】吸気されるガス中に含まれる反応生成物がロータ1及びケーシング5に付着してもモータ2に過負荷を生じさせず安定して運転を維持する。【構成】排気側のロータ1とケーシング5の隙間を広げるために、ロータ1の排気側の端部を円周方向に円錐台形にし、ケーシング5との隙間を広げ、反応生成物が堆積しても、隙間をもたせるようにしたことである。
請求項（抜粋）：
一端側に吸気口を有し他端側に排気口をもつケーシングと、このケーシングに収納され互いに回転軸平行にし回転するロータを備える真空ポンプにおいて、前記排気側の前記ケーシングと前記ロータと間に逃げ部をもたせることを特徴とする真空ポンプ。
IPC (2件)：
引用特許：
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