特許

J-GLOBAL ID：200903027334950957

拡散板を使用した干渉計、及び、拡散板の製造方法

発明者： 竹内 誠二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065095
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262505
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】 作成が容易で拡散光が被検面を均一に照明し、被検面を正確に測定することができる拡散板干渉計及びかかる拡散板の製造方法を提供する。【解決手段】 光源からの光を回折散乱させてほぼランダムな位相を与える点対称な拡散板と、干渉縞を検出する検出手段とを有し、前記拡散板で回折して被検面で反射して前記拡散板を透過する光と、前記拡散板を透過して前記被検面で反射して前記拡散板で回折する光とを干渉させる干渉計において、前記拡散板の対称点を軸に回転可能に構成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光源からの光を回折散乱させてほぼランダムな位相を与える点対称な拡散板と、干渉縞を検出する検出手段とを有し、前記拡散板で回折して被検面で反射して前記拡散板を透過する光と、前記拡散板を透過して前記被検面で反射して前記拡散板で回折する光とを干渉させる干渉計において、前記拡散板の対称点を軸に回転可能に構成することを特徴とする干渉計。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G02B 5/02

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G02B 5/02 D

Fターム (14件)：

2F064AA09 ,  2F064BB03 ,  2F064CC01 ,  2F064EE04 ,  2F064GG00 ,  2F064GG22 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2H042AA05 ,  2H042AA23 ,  2H042BA03 ,  2H042BA09 ,  2H042BA15 ,  2H042BA21