特許
J-GLOBAL ID：200903027335256019
透明導電膜検査装置及び方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-083715
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273997
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 透明導電膜の均質状態やエッチング時あるいはエッチング後の状態及び基板上に形成されたピンホールの状態を容易にかつ効率的に精度良く検査する装置および方法を提供する【解決手段】 透明導電膜が塗布された基板上に実質的に赤外線領域の波長の光を照射する光照射系と、透明導電膜からの光を検出し、基板上の透明導電膜に関する情報を得る検出系とを有することを特徴とする透明導電膜検査装置。
請求項（抜粋）：
透明導電膜が塗布された基板上に実質的に赤外線領域の波長の光を照射する光照射系と、前記透明導電膜からの光を検出し、基板上の透明導電膜に関する情報を得る検出系とを有することを特徴とする透明導電膜検査装置。
FI (2件)：
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 F
