特許
J-GLOBAL ID：200903027337458590
走査プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270396
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117850
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 STMにおいて探針の応答速度を移動方向毎に任意に設定できるようにする。【構成】 探針2で検出されたトンネル電流は、I/V変換器5、対数アンプ6、コンパレータ7、フィルタ8、HVアンプ9を経てPZTスキャナ1のZ駆動部にフィードバックされるが、フィルタ8は、ダイオードD1 と可変抵抗器VR1 の直列回路と、ダイオードD2 と可変抵抗器VR2 の直列回路とが並列に接続されており、可変抵抗器VR1 ,VR2 を調整することによって極性毎に時定数が調整可能であり、同様に、HVアンプ9は、ダイオードD3 と可変抵抗器VR3 の直列回路と、ダイオードD4 と可変抵抗器VR4 の直列回路とが並列に接続されており、可変抵抗器VR3 ,VR4 を調整することによって極性毎にゲインが調整可能である。
請求項（抜粋）：
フィードバック回路中にプローブの帰還の極性毎に応答速度を可変できる手段を備えることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
