マウント検査部における照明装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：仁科勝史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-336527
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150592
出願日： 1998年11月11日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、同一照明装置内に、ボール検査照明と、アライメントマーク検査照明を取り付けることにより、照明光源の取り付けスペースの縮小を図ることを目的とすると共に、1つの照明装置で両方の検査を行なう場合に必要としていた光学系の微調整を必要とせず、全体の検査時間の短縮を図ることである。【解決手段】解決手段として、連続光でワークに対して略垂直方向から照射する第1照明とストロボ光でワークに対してやや角度をつけて照射する第2照明とを同一照明装置内に配置したことを特徴とするボールマウント装置のマウント検査部における照明装置を提供する。

請求項（抜粋）：

連続光でワークに対して略垂直方向から照射する第1照明とストロボ光でワークに対してやや角度をつけて照射する第2照明とを同一照明装置内に配置したことを特徴とするボールマウント装置のマウント検査部における照明装置。

IPC (6件)：

H01L 21/60 321 , H01L 21/60 311 , H01L 23/12 , H04N 1/04 101 , H05K 13/08 , G01B 11/24

FI (6件)：

H01L 21/60 321 Y , H01L 21/60 311 T , H04N 1/04 101 , H05K 13/08 Q , G01B 11/24 C , H01L 23/12 L

Fターム (42件)：

2F065AA16 , 2F065AA49 , 2F065AA54 , 2F065BB02 , 2F065BB07 , 2F065BB27 , 2F065CC26 , 2F065DD06 , 2F065EE00 , 2F065FF42 , 2F065FF67 , 2F065GG07 , 2F065GG08 , 2F065GG13 , 2F065GG17 , 2F065GG24 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065HH18 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL49 , 2F065MM07 , 2F065PP02 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065RR08 , 5C072AA01 , 5C072BA01 , 5C072BA03 , 5C072CA02 , 5C072EA05 , 5C072EA08 , 5C072LA12 , 5C072VA07 , 5C072XA10 , 5F044KK19 , 5F044PP00 , 5F044QQ04 , 5F044RR00

引用特許：

審査官引用 (4件)

電子部品観察装置及び電子部品観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-315947 出願人：松下電器産業株式会社
特開平1-276004
ボンデイングワイヤ検査装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-341831 出願人：株式会社新川

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