特許
J-GLOBAL ID：200903027342338063
プラズマ生成用マイクロ波電源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-080352
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274999
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ生成室4内の広い空間にプラズマを生成するためにプラズマ生成室4に複数のアンテナ5を配置してマイクロ波を導入する場合に使用するマイクロ波電源装置の小型化・低コスト化を図る。【解決手段】 プラズマ生成用マイクロ波電源装置は、マイクロ波電源部1から出力されたマイクロ波の供給先をマイクロ波スイッチ2により周期的に切り替えながら各アンテナ5へ分岐(時分割)してマイクロ波を出力する。
請求項（抜粋）：
プラズマ生成室内に設けられた複数のマイクロ波導入部にマイクロ波を供給するプラズマ生成用マイクロ波電源装置において、マイクロ波を出力するマイクロ波電源部と、上記マイクロ波電源部から出力されたマイクロ波の供給先を周期的に切り替えながら各マイクロ波導入部へ分岐してマイクロ波を出力するマイクロ波スイッチング手段とを備えていることを特徴とするプラズマ生成用マイクロ波電源装置。
IPC (6件)：
H05H 1/46
, H01J 23/34
, H01J 27/16
, H01J 37/08
, H01J 37/248
, H03B 9/10
H05H 1/46 R
, H01J 23/34 B
, H01J 27/16
, H01J 37/08
, H01J 37/248 Z
, H03B 9/10
