特許

J-GLOBAL ID：200903027343797967

対物レンズ系、該対物レンズ系を備えた観察装置、および該観察装置を備えた露光装置

発明者： 長山 匡 ,  中村 綾子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2001007715
公開番号（公開出願番号）：WO2002-021187
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2002年03月14日
要約：

残存する波面収差高次成分を良好に抑えることのできる対物レンズ系の製造方法。対物レンズ系(7)の製造方法において、対物レンズ系に残存する波面収差高次成分を抑えるために、対物レンズ系を構成する各光学部材の屈折率分布による波面収差を抑えるとともに、各光学部材の各面の基準面に対する波面収差を抑えて、前記各光学部材をそれぞれ製造する製造工程と、組み立てられた対物レンズ系に残存する収差を補正するために対物レンズ系を光学調整する調整工程とを含む。

請求項（抜粋）：

物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群とを備え、 前記第1レンズ群中において最も物体側に配置されたレンズの中心厚をd1とし、前記最も物体側に配置されたレンズの物体側の面と物体との間の光軸に沿った空気換算距離をd0としたとき、 d1/d0<0.2 の条件を満足することを特徴とする対物レンズ系。

IPC (3件)：

G02B13/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G02B13/00 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 525R ,  H01L21/30 525A