特許

J-GLOBAL ID：200903027346843439

間歇供給容易なオゾン水供給装置

発明者： 水谷 淳二
出願人/特許権者： 株式会社ササクラ
代理人 (1件)： 景山 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100700
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288373
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】 オゾン水を経済的且つ能率的に間歇使用可能にする。【解決手段】 オゾン水供給本装置は、オゾン入口出口系1、2、純水入口系3、オゾン水供給系4、これらが接続されたオゾン溶解モジュール5、背圧弁6、排オゾン分解器7、等の一般的構成部分と、バイパス系8及びそのバイパス弁8a、純水供給停止弁9、弁制御装置10、三方弁の水質保持弁部15a及び排水弁部15b、溶存オゾンモニタ16、オゾン濃度調節器17等を有する。【効果】 オゾン水使用停止時にバイパス弁8aを開き純水供給停止弁9を閉め、純水の無駄を防止しつつオゾン水使用停止中のオゾン濃度上昇を抑制し、再使用時の溶存オゾン濃度を早く適正範囲に復帰させることができる。又、溶存オゾン濃度による三方弁の切換により、使用オゾン水の濃度を常に適正値に維持することができる。

請求項（抜粋）：

オゾン入口系とオゾン出口系と純水入口系とオゾン水供給系とが接続されオゾンを純水に溶解させるオゾン溶解装置及び前記オゾン出口系に順次設けられた背圧手段とを備えたオゾン水供給装置において、前記オゾン入口系のオゾンを前記背圧手段の後流側にバイパス可能にするバイパス手段と前記純水入口系の純水供給を停止可能にする純水供給停止手段とを有することを特徴とするオゾン水供給装置。

IPC (3件)：

B01F 1/00 ,  C02F 1/78 ,  H01L 21/304 648

FI (3件)：

B01F 1/00 A ,  C02F 1/78 ,  H01L 21/304 648 K

Fターム (10件)：

4D050AA01 ,  4D050AA20 ,  4D050BB02 ,  4D050BD03 ,  4D050BD04 ,  4D050BD08 ,  4D050CA20 ,  4G035AA01 ,  4G035AE02 ,  4G035AE13