特許

J-GLOBAL ID：200903027348021096

固体放射線検出装置

発明者： 佐藤 恵二 ,  斉藤 豊
出願人/特許権者： 株式会社エスアイアイ・アールディセンター
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-010685
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209417
出願日： 1997年01月23日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 高エネルギーの放射線の検出効率が良く、検出面積の大きな、放射線損傷の小さな2次元の固体放射線検出装置を実現する。【解決手段】 絶縁層3を介してP-単結晶シリコン半導体1とP-単結晶シリコン半導体2があり、P-単結晶シリコン半導体1はN領域4とP+領域5を形成することによりPINフォトダイオード17を有する構造となっており、P+領域6はPINフォトダイオードのチャンネルストッパーである。P-単結晶シリコン半導体2にはポリシリコン8とポリシリコン9を電極としてもつ2層電極構造をもちN領域7をもつ埋め込みチャネルCCDであるCDT14が形成されている。

請求項（抜粋）：

絶縁層(3)を介して両面に単結晶シリコン半導体を有する半導体基板の、一方の面の単結晶シリコン半導体(1)に光電変換素子(13)を設け、もう一方の面の単結晶シリコン半導体(2)にCTD(14)をもつ信号処理回路を設けたことを特徴とする固体放射線検出装置。

IPC (5件)：

H01L 27/14 ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/148 ,  H01L 31/09 ,  H01L 31/10

FI (5件)：

H01L 27/14 K ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/14 B ,  H01L 31/00 A ,  H01L 31/10 A