特許

J-GLOBAL ID：200903027349799961

高粘性合成石英ガラス部材およびその製造方法

発明者： 大塚 久利 ,  青山 武 ,  滝田 政俊
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-183195
公開番号（公開出願番号）：特開平8-048532
出願日： 1994年08月04日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はシリコン単結晶引き上げ用ルツボなどに使用できる高粘性合成石英ガラス部材およびその製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の高粘性合成石英ガラス部材は、水素分子含有量が1×1016molecules/cm3 以上で、歪点が 1,130°C以上、OH基含有量が1ppm 以下、塩素含有量が1ppm 以下であることを特徴とするものであり、この製造方法はシラン化合物の直接火炎法によって製造された、水素分子含有量が1×1017molecules/cm3 以上である合成石英ガラス部材を粉砕、粒度調整、洗浄の各工程を経て合成石英ガラス粉としたのち、これを真空下に 1,500〜 1,900°Cで電気溶融し、成型してなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

水素分子含有量が1×1016molecules/cm3 以上で、歪点が 1,130°C以上、OH基含有量が1ppm 以下、塩素含有量が1ppm 以下であることを特徴とする高粘度合成石英ガラス部材。

IPC (5件)：

C03B 20/00 ,  C03B 19/09 ,  C03C 3/06 ,  C30B 15/10 ,  H01L 21/22 501