特許
J-GLOBAL ID:200903027360328288

レーザー発光分光分析方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 細江 利昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-267920
公開番号(公開出願番号):特開平8-015152
出願日: 1994年11月01日
公開日(公表日): 1996年01月19日
要約:
【要約】【目的】 複数の測定データのうち、強度比が極大又は極小範囲にあるデータのみを選択して、選択されたデータから分析値を求めることにより、分析面の位置が変動しても正しい測定データを得る。【構成】 分析面の位置が変動し、レーザー光の集光点を外れると照射エネルギ密度が低下するが、その発光強度への影響は元素により異なり、目的元素と内標準元素との発光強度比は、分析面と焦光点との間隔を横軸として零点に極点を持つ曲線を描く。この傾向を把握しておき、強度比データの内、極小範囲又は極大範囲に属するデータのみを選んで分析値を求める。【効果】 分析面の変動の影響を受けたデータを除くことになり、分析精度が向上する。
請求項(抜粋):
試料表面にパルスレーザー光を集光照射し、励起光を採光して分光し分析するレーザー発光分光分析方法において、目的元素及び内標準元素の発光強度を測定してそれらの強度比を求め、所定の測定時間内に得られた複数の強度比データの中から強度比が極小範囲又は極大範囲に属するデータを選択し、選択されたデータに基づいて前記目的元素の分析値を求めることを特徴とするレーザー発光分光分析方法。

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