特許
J-GLOBAL ID：200903027385046236
位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-151566
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335723
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】本発明は位置決め装置において、基板と基板を搭載する部材との間に摩擦を生じさせず、非接触で基板を位置決めできるようにする。【構成】エツジ検出手段17A、17B、17Cを用いて基板2の位置を搬送中に非接触で検出し、位置決めすべき基準位置に対する基板2の位置のずれ量を求め、基板2のずれ量に基づき、第1の補正手段22Aによつて搬送手段12を回転させ、第2の補正手段22Bによつてステージ11をX-Y方向に移動させる。
請求項（抜粋）：
基板をステージ上の基準位置に対して位置決めする位置決め装置において、前記基板を載置して前記ステージまで搬送する搬送手段と、該搬送手段上に載置された前記基板のエツジの位置を前記搬送中に非接触で検出するエツジ検出手段と、前記エツジ検出手段の検出結果に基づき、位置決めすべき前記基準位置に対する前記基板の位置のずれ量を求める演算手段と、前記演算手段で求めた前記ずれ量に基づき、前記搬送手段を回転することにより、前記搬送手段に載置されている前記基板の位置の前記基準位置に対する回転ずれを補正する第1の補正手段と、前記演算手段で求めた前記ずれ量に基づき、前記ステージの2次元方向の位置を補正し、前記基板の位置を前記基準位置と平行になるように補正する第2の補正手段とを具えることを特徴とする位置決め装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G05D 3/12
, H01L 21/027
, B23Q 15/22
