特許

J-GLOBAL ID：200903027385366800

漏洩電流の補償を伴う集積回路テスタ

発明者： カーリン・ジェフリー・ディー ,  プン・ヘンリー・ワイ
出願人/特許権者： クリーダンス システムズ コーポレイション
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-547362
公開番号（公開出願番号）：特表2001-522461
出願日： 1998年04月29日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：

【要約】集積回路テスタモジュール(16)において、ピンエレクトロニクス回路(20)が、被試験デバイス(6)の信号ピン(2)に接続した回路ノードに漏洩電流を供給する。漏洩電流は、回路ノードを第1のポテンシャルレベルの電圧源(VDD)に接続し、電流(26)を第2のポテンシャルレベルから回路ノードに供給し、そして、電圧源から回路ノードに供給された電流を測定することによって補償される。第2のポテンシャルレベルは、前記電圧源から供給された電流を減少して実質的にゼロにするような方法で選択的に変更される。その後、回路ノードは、電圧源から非接続にされる。

請求項（抜粋）：

被試験デバイスの信号ピンに接続するための信号ターミナルを有する、集積回路テスタ用の改良されたテスタモジュールであって、テスタモジュールの回路ノードに接続されたピンエレクトロニクス回路と前記ノードに接続された電流測定回路からなると共に、前記ピンエレクトロニクス回路によって供給された漏洩電流を表す出力信号を提供するテスタモジュールであり、 前記改良点が前記回路ノードに接続された制御可能な電流源であって、制御信号に応じてピンエレクトロニクス回路に電流を供給することにあるテスタモジュール。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (4件)：

G01R 31/26 G ,  G01R 31/26 B ,  G01R 31/28 M ,  G01R 31/28 H