特許
J-GLOBAL ID：200903027394970736
ヘリウムリークディテクタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-192033
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024449
出願日： 2003年07月04日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】検出感度の低下やバックグランド値の増加を抑制し、測定精度の高いヘリウムリークディテクタを提供すること。【解決手段】ヘリウムリークディテクタは、被検体からリークされたヘリウムガスを分析管に導いて検出するものであり、次のような分析管10を有している。すなわち、分析管10は、イオンソース11と、イオンソース11で生成されるイオンビームを磁場偏向させる永久磁石13と、永久磁石13により軌道偏向された磁場偏向軌道Aのイオンビームを選択して通過させ、通過したイオンをイオン電流として検出するイオンコレクタ17を有し、イオンソース11からイオンコレクタ17までの部材は、密閉容器18内に気密を保って収納されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被検体からリークされたヘリウムガスを分析管に導いて検出するヘリウムリークディテクタにおいて、
前記分析管は、
イオン源部と、
前記イオン源部で生成されるイオンビームを磁場偏向させる磁性体と、
前記磁性体により軌道偏向されたヘリウムイオンビームを選択して通過させるスリット部材と、
前記スリット部材を通過したイオンをイオン電流として検出するイオンコレクタ部と、
前記イオン源部、磁性体、スリット部材およびイオンコレクタ部を気密を保って収納する密閉容器とを備えることを特徴とするヘリウムリークディテクタ。
IPC (3件)：
G01M3/20
, G01N27/62
, H01J49/30
G01M3/20 D
, G01N27/62 J
, H01J49/30
2G067BB03
, 2G067CC13
, 2G067DD18
, 5C038HH01
, 5C038HH07
, 5C038HH30
