特許
J-GLOBAL ID：200903027411480942
電子放出素子、それを用いた電子源、画像形成装置、及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-083071
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298029
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 高品位画像形成装置を実現し得る電子ビーム源としての電子放出素子を提供する。【解決手段】 素子電極4,5間に、電子放出部2を有する導電性膜3を備える電子放出素子の製造方法において、導電性膜3の還元または凝集を促進するガスを含む雰囲気中にて、電子放出部2の形成工程を行うことを特徴とする。【効果】 フォーミング処理に必要な電力を低下させることができ、均一な電子放出特性を有する素子が得られる。
請求項（抜粋）：
電極間に、電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子において、前記電子放出部が、前記導電性膜に形成された亀裂であって、該亀裂の幅が50nm以下で一様であることを特徴とする電子放出素子。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 B
, H01J 1/30 Z
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
