特許

J-GLOBAL ID：200903027413037329

フッ素系樹脂被膜の形成方法

発明者： 中村 吉紀 ,  丹田 久嗣 ,  谷 庸治
出願人/特許権者： 滋賀県 ,  株式会社アイ.エス.テイ
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159396
公開番号（公開出願番号）：特開平7-011028
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：

【要約】【目的】 耐熱性高分子の表面をO2 、Ar、N2 及びCF4 ガスから選ばれる少なくとも1種類のガスで低温プラズマ処理し、次いでフッ素系樹脂を塗布し、しかる後熱処理することにより、耐熱性高分子の表面とフッ素系樹脂被膜との間の接着力が高く、生産効率や製品の歩留まりに優れた方法を提供する。【構成】 耐熱性高分子としては例えばポリイミド等を用いる。低温プラズマ処理は、室温〜100°Cの温度範囲で、例えばO2 ガスを50モル%以上またはCF4 ガスを50モル%以上含むガスを用い、装置内の圧力を0.01〜10Torrとし、13.56MHzの高周波電流を用い、5〜1000Wの電力で処理する。次に、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂を水分散液または有機溶剤に溶解した形で塗布し、乾燥した後、好ましくは200〜400°Cの高温中で30分から1時間程度熱処理する。

請求項（抜粋）：

耐熱性高分子の表面にフッ素系樹脂被膜を形成する方法において、耐熱性高分子の表面をO2 、Ar、N2 及びCF4 ガスから選ばれる少なくとも1種類のガスで低温プラズマ処理し、次いでフッ素系樹脂を塗布し、しかる後、熱処理することを特徴とするフッ素系樹脂被膜の形成方法。

IPC (3件)：

C08J 7/00 306 ,  C08J 7/04 CFG ,  C08L 27/12