特許
J-GLOBAL ID:200903027419804879
磁気記録媒体の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
古谷 馨 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-220169
公開番号(公開出願番号):特開平9-063052
出願日: 1995年08月29日
公開日(公表日): 1997年03月07日
要約:
【要約】【課題】 優れたCSS耐久性を示し、又、超低グライドハイト特性を達成できる磁気記録媒体を提供する。【解決手段】 基板上に形成されたCSS領域とデータ領域とを有し、前記CSS領域から前記データ領域への表面粗さが連続的に遷移している磁気記録媒体を製造するにあたり、基板の外径より小さな外径を有する円形スパッタリング用ターゲットを用いたスパッタ法により前記CSS領域を形成する。
請求項(抜粋):
基板上に形成されたCSS領域とデータ領域とを有し、前記CSS領域から前記データ領域への表面粗さが連続的に遷移している磁気記録媒体を製造するにあたり、前記CSS領域を、前記基板の外径より小さな外径を有する円形スパッタリング用ターゲットを用いたスパッタ法により形成する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
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