特許
J-GLOBAL ID：200903027421590401
コレット装置及びチップ取扱方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164563
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016990
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 コレットによるチップへの衝撃力で発生した異物をチップ表面中央部に付着することを防止する。【解決手段】 チップ5の表面中央部にブローが可能で且つ吸引が可能なノズル6をコレット1に有し、コレット1とチップ5との接触時に、ノズル6からブローされる気体をチップ5とコレット1の間の経路8から排気し、この気流によって異物を除去する。
請求項（抜粋）：
チップの搬送、或いはチップの基板への接着の際に、チップをコレットにより吸着保持するコレット装置であって、コレット内ブロー用ノズルの中心をコレットの中心線上に位置させたものであることを特徴とするコレット装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, H01L 21/52
, H05K 13/04
H01L 21/68 B
, B25J 15/06 N
, H01L 21/52 F
, H05K 13/04 A
