特許

J-GLOBAL ID：200903027425883578

蛍光線分析装置及び蛍光線分析方法

発明者： 劉 光佑 ,  工藤 喜弘
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-144906
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340825
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 試料を照射する励起X線の幅が狭くても、試料を十分に励起して試料から蛍光線を発することのできる蛍光線分析装置及び蛍光線分析方法を提供すること。【解決手段】 結像手段1として、光軸7に対応するピンホール1Aを設けたプレート1Pを試料Sの上方に配し、その上方に蛍光X線検出器2としてのイメージングプレート2Aを回転可能に配し、試料Sを載置する試料ホルダ3を回転可能に構成し、上記光軸7を軸に上記試料Sを面内回転させ、この回転と同期して上記蛍光X線検出器2を上記光軸7を軸として回転させながら、上記試料Sに対して幅の狭い励起X線LOを照射して試料を励起させる。これにより励起X線LOが試料の全面を照射し、この照射全領域に対応した蛍光X線像を蛍光X線検出器2に結像することができる。

請求項（抜粋）：

試料に励起ビームを照射する励起ビーム照射手段と、前記試料から発せられた蛍光線を結像させる結像手段と、この結像された像の強度分布を検出する検出手段とを有する蛍光線分析装置であって、前記結像手段の光軸を軸に前記試料を面内回転させる第1の回転手段と、前記第1の回転手段と同期して、前記光軸を軸に前記検出手段を回転させる第2の回転手段とを有する、蛍光線分析装置。

IPC (3件)：

G01N 23/223 ,  G21K 1/06 ,  G21K 3/00

FI (3件)：

G01N 23/223 ,  G21K 1/06 K ,  G21K 3/00 S

Fターム (26件)：

2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001AA10 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001GA05 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA15 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA11 ,  2G001KA01 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA07 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17 ,  2G001PA07 ,  2G001PA12 ,  2G001PA14 ,  2G001SA11 ,  2G001SA30