特許

J-GLOBAL ID：200903027430061764

窒化アルミニウム焼結体、金属包含材、静電チャック、窒化アルミニウム焼結体の製造方法および金属包含材の製造方法

発明者： 山田 直仁 ,  森 行正 ,  別所 裕樹 ,  小林 廣道
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-293129
公開番号（公開出願番号）：特開平10-072260
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウムからなる基材の中に金属部材を埋設した金属包含材において、窒化アルミニウム中に低抵抗材料を添加することなく、金属包含材の体積抵抗率を制御すること。この金属包含材を利用して、静電チャックを広い温度範囲で使用できるようにし、かつ腐食性物質の作用に対しても安定にする。【解決手段】アルミニウム以外の金属元素の含有量が100ppm以下であり、室温における体積抵抗率が1.0×109 Ω・cm以上、1.0×101 3 Ω・cm以下である、窒化アルミニウム焼結体を提供する。窒化アルミニウムからなる基材1内に金属部材9が埋設されている。

請求項（抜粋）：

アルミニウム以外の金属元素の含有量が100ppm以下であり、室温における体積抵抗率が1.0×109 Ω・cm以上、1.0×101 3 Ω・cm以下であることを特徴とする、窒化アルミニウム焼結体。

IPC (4件)：

C04B 35/626 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/74 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

C04B 35/58 104 R ,  B23Q 3/15 D ,  C04B 35/74 ,  H01L 21/68 R