特許
J-GLOBAL ID：200903027436103531
酸化物単結晶製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357537
公開番号（公開出願番号）：特開平11-189487
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 貴金属製るつぼ上部の保温部材の変形等による炉条件等の変動を抑制することによって、酸化物単結晶の引上げ歩留りを向上させると共に、引上げ装置の装置コストの低減を図る。【解決手段】 耐火物からなる炉体11、13内に、酸化物単結晶原料が収容される貴金属製るつぼ14が配置される。貴金属製るつぼ14内の酸化物単結晶原料は、高周波加熱コイル等の原料溶融手段で融解される。貴金属製るつぼ14の上方には、この貴金属製るつぼ14の内径より小径の酸化物単結晶の通過孔18aを有する、耐火物からなる 1つまたは複数の保温板18が配置され、所望の温度勾配および炉内温度分布が創出される。このような装置で、原料融液20に浸漬された種結晶21を回転させながら上昇させて、酸化物単結晶を育成する。
請求項（抜粋）：
耐火物からなる炉体と、前記炉体内に配置され、酸化物単結晶原料が収容される貴金属製るつぼと、前記酸化物単結晶原料を溶融する原料溶融手段と、種結晶を下端部に保持し、前記貴金属製るつぼ内の原料融液液面に対して垂設された種結晶保持体と、前記原料融液に浸漬された前記種結晶を回転させながら上昇させ、酸化物単結晶を引上げる回転引上げ機構と、前記貴金属製るつぼの上方に配置されると共に、前記貴金属製るつぼの内径より小径の前記酸化物単結晶の通過孔を有し、耐火物からなる 1つまたは複数の保温板とを具備することを特徴とする酸化物単結晶製造装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C30B 15/00 Z
, C30B 29/30 A
, C30B 29/30 B
