石英ルツボの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-085214
公開番号（公開出願番号）：特開2004-292214
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】石英ルツボの製造方法であって、シリコン単結晶の単結晶歩留まりを向上させ、かつ石英ルツボの変形を抑える。【解決手段】本発明は熔融初期に水素ガスを流し、表面が熔融した段階で水素ガスを停止し、その後に内面に透明層を形成することを特徴とするものである。この方法では石英ルツボの外側のOH基含有量が低くなり、高温使用時の変形が少なくすることが出来る。また内面透明層中のOH基含有量も低く出来るため、表面結晶化を抑制し、単結晶歩留まりを向上させることが出来る。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

石英ルツボの透明層形成前に水素ガスを流し、内表面が 1〜3mm熔融した時点で水素ガスを停止し、さらに内面に透明層を形成してなることを特徴とする石英ルツボの製造方法。

IPC (3件)：

C03B20/00 , C30B15/10 , C30B29/06

FI (3件)：

C03B20/00 H , C30B15/10 , C30B29/06 502B

Fターム (8件)：

4G014AH00 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF00 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077HA12 , 4G077PD01

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