特許

J-GLOBAL ID：200903027441446579

基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、および電気光学装置

発明者： 百瀬 洋一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-226533
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051259
出願日： 1999年08月10日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 ひび割れなどを起こすことのない無機絶縁膜を液状前駆体の塗膜から厚く形成することのできる基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、およびこれらの方法により製造した電気光学装置を提供すること。【解決手段】 電気光学装置において液晶を保持する基板10に対して、電極パターン40の表面側を覆う表面保護膜19を、フレキソ印刷で塗布した液状前駆体の塗膜から形成する際に、上側塗膜92の端縁921を下側塗膜91の端縁911より内側にずらす。従って、上側塗膜92および下側塗膜91の端縁911、921付近のそれぞれに液状前駆体の盛り上がり部分912、922が発生しても、これらの盛り上がり部分912、922同士が重ならないので、塗布後の最大膜厚が薄く済み、ひび割れが発生しない。

請求項（抜粋）：

無機絶縁膜形成用の液状前駆体の塗膜から形成された無機絶縁膜によって導電膜の表面側が覆われた基板の製造方法において、前記導電膜が形成された基板の表面に無機絶縁膜形成用の液状前駆体を塗布して下側塗膜を形成した後、該下側塗膜の表面に無機絶縁膜形成用の液状前駆体を塗布して上側塗膜を形成するとともに当該上側塗膜を形成する際に該上側塗膜の端縁を前記下側塗膜の端縁より内側に位置させることを特徴とする基板の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 348

FI (2件)：

G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 348 A

Fターム (15件)：

2H090HA03 ,  2H090HB03X ,  2H090HB06X ,  2H090HC06 ,  2H090HC14 ,  2H090HC15 ,  2H090HC18 ,  2H090HD05 ,  2H090JA06 ,  2H090JC07 ,  5C094AA36 ,  5C094BA43 ,  5C094EB01 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10