特許

J-GLOBAL ID：200903027442536598

角速度センサ装置

発明者： 矢地 兼雄
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-111060
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300475
出願日： 1997年04月28日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】寄生容量を介するクロストーク電圧を相殺して、角速度信号のみを高い増幅率で増幅することができ、角速度センサの感度を向上させることのできる角速度センサ装置を提供する。【解決手段】 センシング部1aと信号処理回路部1bからなる。センシング部1aの角速度センサ1cの駆動電極e1、e2からは駆動用配線L1、L2が駆動端子L1a、L2aまで導出される。一つの検出電極e3からは検出用配線パターンL3が検出端子L3aまで導出される。もう一つの検出電極e4からは、検出用配線パターンL4と補償配線パターンL5がそれぞれ検出端子L4a、保障端子L5aまで導出される。そして、配線パターン間の寄生容量C51、C13、C32、C24に、C51・C32=C13・C24のブリッジ平行条件を満足させることにより、検出端子L3b、L4bに現れるクロストークを相殺する。

請求項（抜粋）：

角速度センサの対抗する一対の駆動電極(e1、e2)および一対の検出電極(e3、e4)から、センシング部の辺部に形成された一対の駆動端子(L1a、L2a)および検出端子(L3a、L4a)に、それぞれ駆動用配線パターン(L1、L2)および検出用配線パターン(L3、L4)が導出され、かつ、検出用配線パターン(L4)に接続する補償配線パターン(L5)が設けられている角速度センサであって、補償配線パターン(L5)と第1の駆動用配線パターン(L1)との間の寄生容量をC51とし、第1の駆動用配線パターン(L1)と第1の検出用配線パターン(L3)との間の寄生容量をC13とし、第1の検出用配線パターン(L3)と第2の駆動用配線パターン(L2)との間の寄生容量をC32とし、第2の駆動用配線パターン(L2)と第2の検出用配線パターン(L4)との間の寄生容量をC24として、下式が成立するように、前記各配線パターンが配置されている角速度センサ装置。C51・C32=C13・C24

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z