酸に対して不安定な保護基を有するオリゴマー化合物、およびこの化合物を用いて製造したポジ型放射線感応性混合物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-221915
公開番号（公開出願番号）：特開平5-262874
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 (式中、Xはフェニル、ナフチルまたはナフチル基であり、それぞれ少なくとも一つのtert.-ブトキシカルボニルオキシ基により置換され、必要であれば、さらに1個以上の他の置換基を有し、R1 は水素原子、アルキル基、アリール基または基X、R2 は3個までのメチレン基が、-O-、-S-、-NR4 -、-CO-、の様な、少なくと1個の異原子を有する橋かけ構成員により置き換えられているアルキレン、アルケニレンまたはアルキニレン基など、nは2〜50、好ましくは5〜20の整数である。)の化合物。【効果】電子線に対する感度が高く、開裂生成物は水性アルカリ現像剤に良く溶解し、露光区域における現像を促進し、熱処理の際にも混合物から蒸発しない低揮発性を有す。

請求項（抜粋）：

式I(式中、Xはフェニル、[1]ナフチルまたは[2]ナフチル基であり、それぞれ少なくとも一つのtert.-ブトキシカルボニルオキシ基により置換され、必要であれば、さらに1個以上の他の置換基を有し、R1 は水素原子、(C1 〜C6 )アルキル基、(C6 〜C10)アリール基または基Xの一つであり、R2 は、必要であれば3個までのメチレン基が、-O-、-S-、-NR3 -、-CO-、-CO-O-、-CO-NH-、-O-CO-NH-、-NH-CO-NH-、-CO-NH-CO-、-SO2 -、-SO2 -O-または-SO2-NH-の様な、少なくと1個の異原子を有する橋かけ構成員により置き換えられている(C4 〜C12)アルキレン、(C4 〜C12)アルケニレンまたは(C4〜C12)アルキニレン基、または必要であれば脂肪族部分の3個までのメチレン基が上記の種類の橋かけ構成員により置き換えられており、芳香族部分でフッ素、塩素または臭素原子または(C1 〜C4 )アルキル、(C1 〜C4 )アルコキシ、ニトロ、シアノまたはtert.-ブトキシカルボニルオキシ基により置換されていてもよい(C4 〜C12)シクロアルキレン、(C4 〜C12)シクロアルケニレンまたは(C8 〜C16)アリーレンビスアルキル基であり、R3 はアシル基、特に(C1 〜C6 )アルカノイル基であり、nは2〜50、好ましくは5〜20の整数である。)の化合物。

IPC (4件)：

C08G 65/34 NQS , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭53-133429
特開昭56-099336
特開昭59-045439

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